沈听澜把曝光剂量设错这件事,发生在开学第三周的周三下午。
那天微纳加工平台的人特别多。隔壁课题组一个博士生带着三个硕士生在排队,走廊里站了一串。沈听澜和周予安分到的机时是下午一点到三点,时间卡得很死,到点就得交设备。
她有点急。
不是周予安催她,是后面那个博士生每隔几分钟就从玻璃窗往里看一眼。口罩上面那双眼睛写满了“你们快点”。
沈听澜把基底放上样品台,在触摸屏上设置曝光参数。紫外曝光,剂量那一栏她多输了一个零。
周予安在旁边检查掩模版对准,没看屏幕。
她按下确认键的时候,手指顿了一下。总觉得哪里不太对,但后面那个博士生又往窗户里看了一眼。
她就把键按下去了。
曝光完成。她把基底取出来放进显影液。
透明的液体里,光刻胶没有像往常一样从图案边缘开始溶解。
整片胶面纹丝不动。
她又等了一会儿,用镊子夹住基底边缘轻轻晃动。胶面还是不动。
她把基底夹出来对着灯光一看。
叉指电极的图案没有出现。光刻胶被烤成了一层焦黄色,硬邦邦地覆在薄膜表面,像一层烤过头的焦糖。
她用镊子尖刮了一下。
刮不动。
李辉正好推门进来。他看了一眼沈听澜手里的基底,又看了一眼她脸上的表情。
“这颜色挺好看。”
他凑近了些,把镊子接过去敲了敲那层焦黄的表层,发出极细微的笃笃声。
“跟烤鸭皮似的。你拿紫外光烤的?”
沈听澜没说话。她把曝光参数从设备记录里调出来,盯着剂量那一栏多出来的那个零。
手指在触摸屏边上停了一瞬。
周予安走过来,把那片报废的基底从镊子上取下来,对着灯光看了看。焦黄色的硬壳在光线下透出一种接近琥珀的质感,叉指电极的掩模图案其实印上去了,但光刻胶碳化得太厉害,边缘糊成了一片。
“留着。”他说。
沈听澜看着他。
他从样品柜里拿出一个透明样品盒,把那片焦黄的基底放进去,盖好盖子。又从笔筒里抽出一支记号笔,在标签上写字。
字迹瘦的,锋利的。
“三月十二日,曝光剂量错误,焦了。留存。”
他把样品盒放在样品柜最上层,和那批成功的电极图案并排。
“留这个干什么。”沈听澜问。
周予安把笔套盖回去。
“留给你下学期看的。等你做熟了,回头看看这个,就知道自己走了多远。”
沈听澜看着那个样品盒。焦黄色的基底隔着透明塑料,边缘糊掉的叉指电极像一幅没印好的版画。
她忽然想起高中时周予安收着她的那些草稿纸。第一版升温曲线画错了,他收着。申报书提纲撕了两版,他收着。耗材清单上被她划掉又重写的MEMS问号,他也收着。
他一直在做同一件事。
把她所有的不完美都保存下来,然后在未来某个时刻,拿给她看。
看,你从这里走到了这里。
后面那个博士生又在窗户外面晃了一下。沈听澜把样品柜关上,重新取出一片新的基底。
“再来。”
第二片做得很顺。匀胶,前烘,对准,曝光,显影。叉指电极的图案干净利落地转移到薄膜表面,边缘清晰,线宽均匀。
她把成品放进样品盒里,标签上写日期和批次。然后在那行日期下面,加了一个字。
“二”。
第一次是焦的,第二次是好的。她把两个样品盒并排放在一起。
走出微纳加工平台的时候,外面的天已经暗了。法桐树还是秃的,但枝丫的末梢泛出了一层极淡的青灰色。
不是绿,是绿之前的那种颜色。
她站在门口看了一会儿那层青灰色。
周予安从后面走上来,手里拎着她的围巾。她换防护服的时候搭在更衣室椅子上忘了拿。
他把围巾递过来。
她接过围上。枇杷花贴在嘴角,绒绒的。
“饿了。”她说。
“食堂三楼新开了酸菜鱼窗口。”
“去。”
两个人踩着湿漉漉的校道往食堂走。路灯亮着,暖黄色的光落在路面未干的水渍上,亮晶晶的。
她的影子和他的影子叠在一起,她的小一点,他的大一点。
走到食堂门口的时候,她回头看了一眼微纳加工平台的方向。那栋白色的楼在暮色里亮着一排窗,其中一扇是三号光刻机所在的房间。
样品柜最上层,那片焦黄的基底正安静地躺在透明盒子里。标签上写着“留存”。
她转过头,推开食堂的玻璃门。
酸菜鱼的酸味和辣椒的辛味混在一起涌出来,把她整个人裹进去。
周予安已经在窗口排队了。她走过去站在他旁边。
他偏过头看了她一眼。
“微辣还是中辣?”
“中辣。”
他点了一下头,跟打饭阿姨说了。
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